半導(dǎo)體設(shè)備
本文來(lái)自方正證券研究所2021年11月13日發(fā)布的報(bào)告《北方華創(chuàng):晶圓廠擴(kuò)張“賣水人”,平臺(tái)化布局“刻蝕+沉積+清洗+熱處理”》,2021年08月20日發(fā)布的報(bào)告《半導(dǎo)體刻蝕機(jī)研究框架》,2022年04月21日發(fā)布的報(bào)告《拓荊科技:國(guó)產(chǎn)薄膜沉積設(shè)備產(chǎn)業(yè)化先鋒,布局PECVD+ALD+SACVD》,2022年06月04日發(fā)布的報(bào)告《華海清科:國(guó)內(nèi)唯一12英寸CMP設(shè)備量產(chǎn)供應(yīng)商,晶圓廠擴(kuò)產(chǎn)+國(guó)產(chǎn)替代助推高速成長(zhǎng)》,2021年12月31日發(fā)布的報(bào)告《盛美上海:晶圓廠擴(kuò)張賣水人,國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體清洗設(shè)備龍頭,平臺(tái)化布局“電鍍+無(wú)應(yīng)力拋光+立式爐”》